從目前國內外的研究狀況來看,在現有的技術水平下還難以實現金剛石膜制品的大批量,工業化制備。而且即使是小批量制備,還存在著生產周期長,制造成本較高等缺點。由于金剛石本身具有良好的物理和化學性質,在電子、化工、機械領域對金剛石制品的需求也Ft漸迫切。國外目前正致力于研究Ic的金剛石散熱系統、鈦電極的金剛石表面處理以及硬質合金刀具涂層技術。業界領先的美國sp3公司則利用熱絲CVD (hot filament CVD reactors)設備來開展這些熱門應用,并且在2006年與美國CPS公司結盟聯合解決A1SiC 陶瓷在高溫應用領域中存在的系列難題,以滿足電子封裝市場的巨大需求。因此,促進CVD金剛石膜制品發展應用的一條可借鑒的道路就是通過研發低功耗,小體積,性能穩定和具有較大沉積面積的熱絲CVD設基金...
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